标准名称: | 仪器化纳米压入试验方法 薄膜的压入硬度和弹性模量 |
英文名称: | Instrumented nanoindentation test—Indentation hardness and modulus of thin film |
中标分类: | 综合 >> 基础学科 >> 物理学与力学 |
ICS分类: | 试验 >> 机械试验 |
发布部门: | 国家质量监督检验检疫总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: | 2011-01-10 |
实施日期: | 2011-05-01 |
首发日期: | 2011-01-10 |
作废日期: | |
主管部门: | 全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
提出单位: | 中国科学院 |
归口单位: | 全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
起草单位: | 王秀芳、张泰华、宋洪伟、杨晓萍、杨荣、郇勇 |
起草人: | 王秀芳、张泰华、宋洪伟、杨晓萍、杨荣、郇勇 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2011-05-01 |
页数: | 16页 |
本标准规定了测试薄膜压入硬度和弹性模量的仪器化纳米压入试验方法。
本标准适用于附着在固体表面的薄膜。压入方向为垂直于试样表面方向,压入深度范围通常在纳米量级,也可以扩展至几微米。
没有内容
前言 Ⅰ 引言 Ⅱ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义、符号 1 4 测试原理 1 5 测试要求 2 6 测试程序 2 7 结果分析 5 8 试验报告 9 参考文献 10
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